高精密磨床

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ULC/ULG 系列旨在以高效率和高精度车削和研磨自由形状表面（fθ 透镜）和非球面透镜及其各自的模具。另外，机床结构和选件可用于各种应用，具有较高的性价比。


一、功能

1、高精度空气静力轴承主轴（研磨主轴、工作主轴）
（1）精密损耗精度
除了高速、高精度、高刚性、低发热性和高可靠性，还实现了精密损耗精度
研磨主轴：20nm/SPAM
工作主轴：5nm/SPAM (*1)
（*1) 通过单点异步误差运动方法测量
（2）考虑生态环境
高精度空气静力轴承主轴配有多孔限流器，可实现稳定化和精致的加工表面，多孔限流器大大减少了空气消耗，本公司根据惯例实现了 1/6 比率的空气消耗量，因此，利于节能减排。

2、高精度滚针V-V导轨
（1）高可重复性，高加工效率
低摩擦力导轨整合了本公司的原创高研磨技术和精选高精度轧辊，对纳米范围进给速率响应度高，消了逆向进给的延迟。该导轨系统的刚性和稳定性高于静液压/空气静力轴承导轨，但精度能保持相似。

（2）考虑生态环境和空间节省
没有静态导轨常见的流体温度波动，以保稳定的精度，同时无需使用液压装置之类的设备，即节省空间又节省能源。

3、轴驱动技术
（1）优化的设计
在考虑性价比的前提下，针对每种机器类型和轴优化设计了滚珠螺杆驱动系统和线性马达驱动系统。

（2）考虑高精致加工
通过采用滚珠螺杆驱动系统，我们开发并利用耦合器，解决了滚珠螺杆旋转所造成的常见应力和振荡问题。



三、主要规格


（1）车床

型号
ULC-100D(S)
直线行程轴
X 轴 (mm)
300
Y 轴 (mm)
25
Z 轴 (mm)
150
编程分辨率 (nm)
1
最大进给速率(mm/min)
X、Z：500
Y： 300
工作主轴
旋转速度
(min-1)
0-1500
真空吸盘直径 (mm)
π100
C 轴功能
——
研磨主轴速度 (min-1)
 ——
B 轴车削工作台
进给速率（度/分钟）
 ——
编程分辨率（度）
——
轴结构，括号 () 中的轴是配件。
X 轴，Y 轴，Z 轴
可选配件
喷雾冷却剂供应装置、刀具架、对称非球面表面加工软件和 PC、集雾器等


（2）车削和研磨机床

型号
ULG-100E(HY)
ULG-100D(HYS)
ULG-100D(HYB)
直线行程轴
X 轴 (mm)
 300 300
 300
Y 轴 (mm)
 20
25
25
Z 轴 (mm)
 150
150
 150
编程分辨率 (nm)
1
最大进给速率(mm/min)
X、Z：500
Y： 300
工作主轴
旋转速度(min-1)
 0-1500
真空吸盘直径 (mm)
π100
C 轴功能
 配件
标配
研磨主轴速度 (min-1)
 5000-40000 10000-60000
B 轴车削工作台
进给速率（度/分钟）
 —— 0-1080
编程分辨率（度）
 ——
 0.0001
轴结构，括号 () 中的轴是配件。
X 轴，Y 轴，Z 轴（C轴）
 X 轴，Y 轴，Z 轴、B轴、C轴
可选配件
冷却剂供应装置、喷雾冷却剂供应装置、刀具架、对称非球面表面加工软件、非对称非球面表面加工软件 (*1) 和 PC、集雾器等


(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非对称非球面表面加工软件。


（3）自由形状表面车削和研磨机床

型号
ULG-100D(H3)
 ULG-100D(5A）
直线行程轴
 X 轴 (mm)
 300
 450
Y 轴 (mm) 100 100
Z 轴 (mm) 150 150
编程分辨率 (nm)
 1
最大进给速率(mm/min)
X 轴、Z 轴、Y 轴： 500
工作主轴
旋转速度(min-1)
 0-1500
真空吸盘直径 (mm)
π100
C 轴功能
 标配
研磨主轴速度 (min-1)
 5000-40000
 10000-60000
B 轴车削工作台
进给速率（度/分钟）
 ——
编程分辨率（度）
 ——
轴结构，括号 () 中的轴是配件。
X 轴，Y 轴，Z 轴、C轴
 X 轴，Y 轴，Z 轴、B轴、C轴
可选配件
冷却剂供应装置、喷雾冷却剂供应装置、刀具架、对称非球面表面加工软件、非对称非球面表面加工软件和 PC、集雾器等


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